Superlattice HfO₂-ZrO₂based Ferro-Stack HfZrO₂FeFETs: Homogeneous-Domain Merits Ultra-Low Error, Low Programming Voltage 4 V and Robust Endurance 10⁹cycles for Multibit NVM

C. Y. Liao, Z. F. Lou, C. Y. Lin, A. Senapati, R. Karmakar, K. Y. Hsiang, Z. X. Li, W. C. Ray, J. Y. Lee, P. H. Chen, F. S. Chang, H. H. Tseng, C. C. Wang, J. H. Tsai, Y. T. Tang, S. T. Chang, C. W. Liu, S. Maikap^*, M. H. Lee^*