Study of symmetric microstructures for CMOS multilayer residual stress

Ying Jui Huang, Tien Li Chang*, Hwai Pwu Chou

*此作品的通信作者

研究成果: 雜誌貢獻期刊論文同行評審

10 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Study of symmetric microstructures for CMOS multilayer residual stress」主題。共同形成了獨特的指紋。

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