Sputter-cleaning of an aluminum alloy using a thermionically assisted triode plasma system

J. H. Hsieh*, C. Li, S. J. Liu

*此作品的通信作者

研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

1 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Sputter-cleaning of an aluminum alloy using a thermionically assisted triode plasma system」主題。共同形成了獨特的指紋。

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