Reliability improvement of rapid thermal oxide using gas switching
- Min Hung Lee
- , Cheng Ya Yu
- , Fon Yuan
- , K. F. Chen
- , Chang Chi Lai
- , Chee Wee Liu*
*此作品的通信作者
研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）