原文 | 英語 |
---|---|
頁(從 - 到) | 1491-1494 |
頁數 | 4 |
期刊 | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
卷 | 22 |
發行號 | 3 |
DOIs | |
出版狀態 | 已發佈 - 2004 |
對外發佈 | 是 |
ASJC Scopus subject areas
- 凝聚態物理學
- 電氣與電子工程
T. S. Lay*, W. T. Kuo, L. P. Chen, Y. H. Lai, W. H. Hung, J. S. Wang, J. Y. Chi, D. K. Shih, H. H. Lin
研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
原文 | 英語 |
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頁(從 - 到) | 1491-1494 |
頁數 | 4 |
期刊 | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
卷 | 22 |
發行號 | 3 |
DOIs | |
出版狀態 | 已發佈 - 2004 |
對外發佈 | 是 |