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Multitechnique characterization of sandwiched Si/SiGe/Si heterostructures
Z. C. Feng
*
, T. R. Yang
, J. Zhao
, R. P.G. Karunasiri
, W. Lu
, W. E. Collins
*
此作品的通信作者
物理學系
研究成果
:
會議貢獻類型
›
會議論文
›
同行評審
總覽
指紋
指紋
深入研究「Multitechnique characterization of sandwiched Si/SiGe/Si heterostructures」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Engineering
Ray Diffraction
100%
Heterostructures
100%
Vibration Mode
100%
Raman Spectra
100%
Mass Spectrum
100%
Mass Spectrometry
100%
Channelling
100%
Depth Profile
50%
Low-Temperature
50%
Layer Thickness
50%
Crystallinity
50%
Interdiffusion
50%
Alloying
50%
Fourier Transform
50%
FTIR Spectroscopy
50%
INIS
layers
100%
germanium silicides
100%
ions
66%
x-ray diffraction
66%
vibration modes
66%
mass spectroscopy
66%
ion channeling
66%
rutherford backscattering spectrometry
66%
orientation
33%
surfaces
33%
depth
33%
growth
33%
interfaces
33%
photoluminescence
33%
oxidation
33%
low temperature
33%
thickness
33%
raman effect
33%
molecular beam epitaxy
33%
fourier transformation
33%
raman spectra
33%
fourier transform spectrometers
33%
Material Science
Heterojunction
100%
Secondary Ion Mass Spectrometry
100%
Rutherford Backscattering Spectrometry
100%
Photoluminescence
50%
Alloying
50%
Molecular Beam Epitaxy
50%
Fourier Transform Infrared Spectroscopy
50%
Surface (Surface Science)
50%