Improvement on Ferroelectricity and Endurance of Ultra-Thin HfZrO2 Capacitor with Molybdenum Capping Electrode

K. T. Chen, C. Y. Liao, C. Lo, H. Y. Chen, G. Y. Siang, S. Liu, S. C. Chang, M. H. Liao, S. T. Chang, M. H. Lee*

*此作品的通信作者

研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章

8 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Improvement on Ferroelectricity and Endurance of Ultra-Thin HfZrO2 Capacitor with Molybdenum Capping Electrode」主題。共同形成了獨特的指紋。

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