Impact of nitrogen depth profiles on the electrical properties of crystalline high-K gate dielectrics

Jhih Jie Huang, Yi Jen Tsai, Meng Chen Tsai, Li Tien Huang, Min Hung Lee, Miin Jang Chen*

*此作品的通信作者

研究成果: 雜誌貢獻期刊論文同行評審

3 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Impact of nitrogen depth profiles on the electrical properties of crystalline high-K gate dielectrics」主題。共同形成了獨特的指紋。

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