Growth of si3 n4 thin films on si(111) surface by rf-n2 plasma nitriding

Wei Chun Chen*, Sheng Chen, Tung Yuan Yu, James Su, Hung Pin Chen, Yu Wei Lin, Chin Pao Cheng

*此作品的通信作者

研究成果: 雜誌貢獻 › 通訊期刊論文 › 同行評審

1 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Growth of si3 n4 thin films on si(111) surface by rf-n2 plasma nitriding」主題。共同形成了獨特的指紋。

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