Growth of si3 n4 thin films on si(111) surface by rf-n2 plasma nitriding
- Wei Chun Chen*
- , Sheng Chen
- , Tung Yuan Yu
- , James Su
- , Hung Pin Chen
- , Yu Wei Lin
- , Chin Pao Cheng
*此作品的通信作者
研究成果: 雜誌貢獻 › 通訊期刊論文 › 同行評審
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引文
斯高帕斯（Scopus）