原文 | 英語 |
---|---|
頁(從 - 到) | 60-64 |
頁數 | 5 |
期刊 | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
卷 | 22 |
發行號 | 1 |
DOIs | |
出版狀態 | 已發佈 - 2004 一月 1 |
ASJC Scopus subject areas
- Condensed Matter Physics
- Electrical and Electronic Engineering
原文 | 英語 |
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頁(從 - 到) | 60-64 |
頁數 | 5 |
期刊 | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
卷 | 22 |
發行號 | 1 |
DOIs | |
出版狀態 | 已發佈 - 2004 一月 1 |