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Electrical and structural study on indium zinc oxide thin films by sputtering process
Chuan Li
*
, J. H. Hsieh,
S. J. Liu
, W. S. Lin
*
此作品的通信作者
物理學系
研究成果
:
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期刊論文
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同行評審
3
引文 斯高帕斯(Scopus)
總覽
指紋
指紋
深入研究「Electrical and structural study on indium zinc oxide thin films by sputtering process」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
INIS
thin films
100%
zinc oxides
100%
indium
100%
sputtering
100%
films
25%
production
12%
correlations
12%
applications
12%
probes
12%
emission
12%
glass
12%
water vapor
12%
substrates
12%
plasma
12%
flow rate
12%
aluminum
12%
solar energy
12%
spectrometers
12%
electrical conductivity
12%
xrd
12%
electron density
12%
electrical resistivity
12%
ion density
12%
plasma potential
12%
langmuir probe
12%
plasma diagnostics
12%
Chemistry
Liquid Film
100%
Zinc Oxide
100%
Structural Studies
100%
Indium
100%
Plasma
25%
Probe
25%
Structure
12%
Application
12%
Flow Kinetics
12%
Electron Particle
12%
Density
12%
Glass Substrate
12%
Ion
12%
Correlation
12%
Magnetron Sputtering
12%
Solar Energy
12%
Phase Composition
12%
Resistance
12%
Aluminum
12%
Transmittance
12%
Resistivity
12%
X-Ray Diffraction
12%
Water Vapor
12%
Plasma Diagnostics
12%
Material Science
Thin Films
100%
Zinc Oxide
100%
Density
12%
Magnetron Sputtering
12%
Glass
12%
Electrical Conductivity
12%
Electrical Resistivity
12%
Water Vapor
12%