Effects of H₂ flow rate and H₂ plasma treatment on the properties of AZO films

C. G. Kuo, C. L. Li, C. C. Huang, F. H. Wang, C. F. Yang, I. C. Chen

工業教育學系

研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章

1 引文斯高帕斯（Scopus）

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Engineering & Materials Science