Effects of deposition parameters on the structure and properties of ZrN, WN and ZrWN films

C. Y. Wu, J. H. Chen, C. G. Kuo, M. J. Twu, S. W. Peng, C. Y. Hsu*

*此作品的通信作者

研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

6 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Effects of deposition parameters on the structure and properties of ZrN, WN and ZrWN films」主題。共同形成了獨特的指紋。

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