Aluminium oxide optical film fabricated with ion-assisted deposition using sulphur hexafluoride and oxygen working gases

Yu Yun Chen, Liang Yu Yen, Jin Cherng Hsu*, Huang Lu Chen, Paul W. Wang, Hsiang Lin Liu

*此作品的通信作者

研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審

3 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Aluminium oxide optical film fabricated with ion-assisted deposition using sulphur hexafluoride and oxygen working gases」主題。共同形成了獨特的指紋。

INIS

Material Science