A novel high precision electromagnetic flexure-suspended positioning stage with an eddy current damper
- Chih Hsien Lin*
- , Shao Kung Hung
- , Mei Yung Chen
- , Shan Tsung Li
- , Li Chen Fu
*此作品的通信作者
研究成果: 書貢獻/報告類型 › 會議論文篇章
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引文
斯高帕斯（Scopus）