克強 柳
研究成果: 雜誌貢獻 › 期刊論文 › 同行評審
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TY - JOUR
T1 - 電漿製程中電漿密度之量測－傳輸線式微波干涉儀
AU - 克強, 柳
PY - 2012
Y1 - 2012
M3 - 期刊論文
SN - 1017-091X
VL - 25
JO - 真空科技
JF - 真空科技
IS - 1
ER -