鐵磁性金屬薄膜在半導體上的製程與磁性研究

研究成果: 雜誌貢獻文章

摘要

本研究中磁性材料選擇鈷,選用矽(100)當作基板。用射頻磁控濺鍍成長鈷及蒸鍍成長紅熒烯,當作改變矽基板表面特性的介面層,在單晶矽(100)上成長鈷/4 nm紅熒烯/矽(100)結構,配合鈷/矽(100)系統的研究,探討紅熒烯加入後對表面與磁性的影響,用原子力顯微鏡觀察表面形貌的變化,與磁光科爾效應的磁探測技術。比較鈷/矽(100)與鈷/4 nm紅熒烯/矽(100)兩個系統,發現在鈷/矽(100)系統中間夾入4 nm紅熒烯,成為鈷/4 nm紅熒烯/矽(100)系統,紅熒烯會減少鈷膜內部的缺陷,導致矯頑力的下降,在此提出4 nm紅熒烯扮演化學中界面活性劑的角色,使鈷薄膜在磁特性表現更好。
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頁(從 - 到)97-103
頁數7
期刊臺北海洋技術學院學報
8
發行號1
出版狀態已發佈 - 2016

Keywords

  • 紅熒烯
  • 表面磁光科爾效應
  • Cobalt
  • Rubrene
  • SMOKE
  • Silicon

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