程 金保

研究成果

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• 2021

  Growth of si₃ n₄ thin films on si(111) surface by rf-n₂ plasma nitriding

  Chen, W. C., Chen, S., Yu, T. Y., Su, J., Chen, H. P., Lin, Y. W. & Cheng, C. P., 2021 1月, 於: Coatings. 11, 1, p. 1-8 8 p., 2.

  研究成果: 雜誌貢獻 › 通訊期刊論文 › 同行評審

  開啟存取

  • Nitriding 100%
  • nitriding 93%
  • Thin films 74%
  • Plasmas 72%
  • radio frequencies 67%
  1 引文 斯高帕斯（Scopus）