鋪覆鉑薄膜於鈷針表面之皺化研究

王 晨育(Chen-Yu Wang), 陳 晏清(Yan-Ching Chen), 傅 祖怡(Tsu-Yi Fu)

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

本實驗藉由場離子顯微鏡,觀察超薄膜鋪覆於針狀金屬表面之現象。首先,觀察加熱退火對鈷針造成之影響,發覺表面可能會變得更完整或破裂。接下來,鋪覆鉑之薄膜於鈷金屬表面並觀察,發覺由於切面擴張而產生皺化現象。加熱退火至600K,可發現由於鉑之鋪覆,增加表面能異向性、降低皺化所需之加熱退火溫度,使得表面自由能較低的(0001)、(1013)切面擴張,並形成單條稜線,但由於鈷為非耐火性之材料,因此易受加熱退火影響,使得稜線成長不完整,難以觀察到金字塔堆疊。
Original languageChinese (Traditional)
Pages (from-to)59-64
Number of pages6
Journal真空科技
Volume27
Issue number2
Publication statusPublished - 2014

Cite this