自動化光學檢測應用於微放電線上補償技術研究

陳 順同(Shun-Tong Chen), 楊 弘意(Hong-Ye Yang), 康 智凱(Zhi-Kai Kang)

Research output: Contribution to journalArticle

Abstract

本研究整合機器視覺(Machine vision)與微製造技術(Micro fabrication technique)功能於同一部製造系統上,利用精密位移平台將線上加工完成的微細元件,以影像疊合技術對誤差量進行線上補償檢測,透過影像擷取、濾波、二值化、影像定位及影像比對的方式,計算工件影像和標準影像像素座標差值,即可得知補償值,經影像辨識計算後的補償量,系統會自動補償於原始加工程式的原點座標(G92)上進行再加工。主要目的使微小加工元件,在沒有任何移動、拆卸的情況下,直接進行影像比對與補償再加工,以提高微元件之幾何精度與尺寸精度,節省校正時間,並獲致線上微細加工、檢測與自動化補償之目的。透過上述所開發的補償技術,本研究成功應用於直徑30μm精密微球探針的製作。
Original languageChinese
Pages (from-to)53-57
Number of pages5
Journal先進工程學刊
Volume6
Issue number1
DOIs
Publication statusPublished - 2011

Cite this

自動化光學檢測應用於微放電線上補償技術研究. / 陳順同(Shun-Tong Chen); 楊弘意(Hong-Ye Yang); 康智凱(Zhi-Kai Kang).

In: 先進工程學刊, Vol. 6, No. 1, 2011, p. 53-57.

Research output: Contribution to journalArticle

陳順同(Shun-Tong Chen) ; 楊弘意(Hong-Ye Yang) ; 康智凱(Zhi-Kai Kang). / 自動化光學檢測應用於微放電線上補償技術研究. In: 先進工程學刊. 2011 ; Vol. 6, No. 1. pp. 53-57.
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keywords = "機械視覺, 微製造技術, 線上補償技術, 光學檢測, machine vision, micro fabrication technique, on-line compensation, optical Inspection",
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publisher = "中原大學工學院",
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TY - JOUR

T1 - 自動化光學檢測應用於微放電線上補償技術研究

AU - 陳, 順同(Shun-Tong Chen)

AU - 楊, 弘意(Hong-Ye Yang)

AU - 康, 智凱(Zhi-Kai Kang)

PY - 2011

Y1 - 2011

N2 - 本研究整合機器視覺(Machine vision)與微製造技術(Micro fabrication technique)功能於同一部製造系統上,利用精密位移平台將線上加工完成的微細元件,以影像疊合技術對誤差量進行線上補償檢測,透過影像擷取、濾波、二值化、影像定位及影像比對的方式,計算工件影像和標準影像像素座標差值,即可得知補償值,經影像辨識計算後的補償量,系統會自動補償於原始加工程式的原點座標(G92)上進行再加工。主要目的使微小加工元件,在沒有任何移動、拆卸的情況下,直接進行影像比對與補償再加工,以提高微元件之幾何精度與尺寸精度,節省校正時間,並獲致線上微細加工、檢測與自動化補償之目的。透過上述所開發的補償技術,本研究成功應用於直徑30μm精密微球探針的製作。

AB - 本研究整合機器視覺(Machine vision)與微製造技術(Micro fabrication technique)功能於同一部製造系統上,利用精密位移平台將線上加工完成的微細元件,以影像疊合技術對誤差量進行線上補償檢測,透過影像擷取、濾波、二值化、影像定位及影像比對的方式,計算工件影像和標準影像像素座標差值,即可得知補償值,經影像辨識計算後的補償量,系統會自動補償於原始加工程式的原點座標(G92)上進行再加工。主要目的使微小加工元件,在沒有任何移動、拆卸的情況下,直接進行影像比對與補償再加工,以提高微元件之幾何精度與尺寸精度,節省校正時間,並獲致線上微細加工、檢測與自動化補償之目的。透過上述所開發的補償技術,本研究成功應用於直徑30μm精密微球探針的製作。

KW - 機械視覺

KW - 微製造技術

KW - 線上補償技術

KW - 光學檢測

KW - machine vision

KW - micro fabrication technique

KW - on-line compensation

KW - optical Inspection

U2 - 10.29948/JAE.201101.0007

DO - 10.29948/JAE.201101.0007

M3 - 文章

VL - 6

SP - 53

EP - 57

JO - 先進工程學刊

JF - 先進工程學刊

SN - 1991-797X

IS - 1

ER -