自動化光學檢測應用於微放電線上補償技術研究

本研究整合機器視覺(Machine vision)與微製造技術(Micro fabrication technique)功能於同一部製造系統上，利用精密位移平台將線上加工完成的微細元件，以影像疊合技術對誤差量進行線上補償檢測，透過影像擷取、濾波、二值化、影像定位及影像比對的方式，計算工件影像和標準影像像素座標差值，即可得知補償值，經影像辨識計算後的補償量，系統會自動補償於原始加工程式的原點座標(G92)上進行再加工。主要目的使微小加工元件，在沒有任何移動、拆卸的情況下，直接進行影像比對與補償再加工，以提高微元件之幾何精度與尺寸精度，節省校正時間，並獲致線上微細加工、檢測與自動化補償之目的。透過上述所開發的補償技術，本研究成功應用於直徑30μm精密微球探針的製作。