自動化光學檢測應用於微放電線上補償技術研究

陳 順同(Shun-Tong Chen), 楊 弘意(Hong-Ye Yang), 康 智凱(Zhi-Kai Kang)

Research output: Contribution to journalArticle

Abstract

本研究整合機器視覺(Machine vision)與微製造技術(Micro fabrication technique)功能於同一部製造系統上,利用精密位移平台將線上加工完成的微細元件,以影像疊合技術對誤差量進行線上補償檢測,透過影像擷取、濾波、二值化、影像定位及影像比對的方式,計算工件影像和標準影像像素座標差值,即可得知補償值,經影像辨識計算後的補償量,系統會自動補償於原始加工程式的原點座標(G92)上進行再加工。主要目的使微小加工元件,在沒有任何移動、拆卸的情況下,直接進行影像比對與補償再加工,以提高微元件之幾何精度與尺寸精度,節省校正時間,並獲致線上微細加工、檢測與自動化補償之目的。透過上述所開發的補償技術,本研究成功應用於直徑30μm精密微球探針的製作。
Original languageChinese (Traditional)
Pages (from-to)53-57
Number of pages5
Journal先進工程學刊
Volume6
Issue number1
DOIs
Publication statusPublished - 2011

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