Project Details
Description
執行本計畫可能產生對各面向的預期影響性: 1. 社會發展: 參與人員可藉此機會學習相關半導體薄膜製作與設計、化學蝕刻術與相關半導體製程設備等相關知識,並培養研究生實作經驗有助於將來進入此領域。 2. 經濟發展: 將本計畫之技術技轉於廠商,也完成未來世代所需sub-3nm可用的新型電晶體,助此領域發展廠商保持技術領先。 3. 學術發展: 本計劃規劃的各研究方向,皆是鐵電鉿基氧化物之多樣化物聯網邊緣運算相關應用於AI晶片之關鍵技術,故本計劃的發展將有利於國內微電子研發。
Status | Finished |
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Effective start/end date | 2020/05/01 → 2021/10/31 |